制备超纯水设备的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→混床→后置精密过滤器→纯水箱→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→电去离子（EDI）→纯水箱→用水点
4、采用反渗透+混合床方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→砂碳过滤器→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔过滤器→用水点

以下为一经典18x106Ω•cm工艺流程及图片：
原水→原水泵→砂碳过滤器→加药装置→一级反渗透→中间水箱→PH调节装置→二级反渗透→二级水箱→输送泵→精密过滤器→TOC去除机→EDI→超纯水箱→输送泵→抛光混床→UV杀菌器→精密过滤器→用水点

超纯水设备用途：污水、废水的回收利用

　　 一些西方国家曾经利用一些方法处理污水，但是处理之后的效果不佳，没有从根本上进行*的处理。此外，超滤设备其价格比较低为废水回收再利用提供了有力的条件。其实，从城市污水处理厂和工场中排出的废水经过处理之后*可以再利用，然而此类做法在西方用户那里难以得到信赖。Windhoek曾经将污水处理厂的出水采用膜技巧回用为饮用水。

地表水处理

　　 超滤设备大多数是利用在地表水处理之上的，处理后的水用于浇灌或作为反渗透的进水，来制备工业用水。这类工厂在荷兰等地的数量逐步上升。这种技巧供给了不用在购置越来越贵的饮用水就能就近取用地表水。

生活饮用水处理

　　 因为生活水平的提高，人们对饮用水的质量要求也就越来越高，水处理公司关注控制供水管网中存在的微生物的量。为了做到这一点，是以一种方法是停止昂贵、频仍的水质检验，或许在供水终端设置防止细菌和病毒进进的樊篱。采用UF系统，可以很是方便的建成多么的樊篱。超滤膜对细菌的往除率可以达到6log，关于病毒的往除率达到4log，是以水厂和用水者都不用在担心细菌和病毒的标题。因为饮用水的质量自身就很高，是以此时的膜系统可以可以采用很高的膜通量，可以达到135升/平米.小时。同时较高的进水前提，是以反冲频率和化学加强反洗的频率都可以很是低，产水量可以达到99%。假设需要还可以设立二级超滤设备，将*级的反洗水进一步回用。

用来进行海水淡化

　　 中东地区是水资本缺乏zui严重的处所。为懂得决这个标题，zui早人们凡是采用蒸馏技巧。从十九世纪60年月，膜技巧被用于处理这些国家的缺水标题。可是，良多反渗透海水淡化(利用半透过膜为海水脱盐出产海水)(利用海水脱盐出产海水)系统面临着膜污染严重的标题。